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【检修】冷水机在真空镀膜中的应用

时间:2021-01-06浏览:

真空镀膜的工作原理是薄膜高温蒸发,落在工件表面结晶。由于空气会对蒸发的膜分子产生阻力,造成碰撞,使晶体变得粗糙、暗淡,上海制冷设备维修企业必须在高真空下使晶体变得细小、光亮,如果真空度不高,晶体会失去光泽,结合力很差。早期真空镀膜依靠蒸发物的自然散射,结合效率差,光泽度差。现在,随着中频磁控溅射靶的加入,膜体的蒸发分子在电场的作用下受到靶材的轰击,大量的靶原子被溅射出来,中性的靶原子(或分子)沉积在衬底上形成薄膜,解决了以往自然蒸发无法处理的膜体品种,如镀钛、镀锆等问题。【/br/】中频设备频率高,电流大,必须加冷却水。电流在导体流动时有趋肤效应,电荷会聚集在电导的表面积上,使电导发热。因此,使用中孔管作为导体,并加入水来冷却它。(主要是圆柱靶)为什么要用水冷却?磁控溅射靶在发射过程中会产生高温,使枪变形,所以有水套对枪进行冷却。同时,磁控溅射可以被视为镀膜技术最杰出的成就之一还有一个重要原因。【/br/】上海制冷设备维修企业溅射率高,基板温升低,膜基附着力好。从更深层次研究了电子在非均匀电磁场中的运动规律,讨论了磁控溅射更一般的原理以及磁场的横向不均匀性和对称性是磁约束的本质原因。磁控溅射可以说是镀膜技术最杰出的成就之一。它具有溅射速率高、衬底温升低、膜基结合力好、器件性能稳定等优点。

【检修】冷水机在真空镀膜中的应用

资料来源:盛京zl

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